Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/20060| Название: | Морфология Ti пленки полученной на облученной ионами ксенона кремнии катодным вакуумным распылением при ионном ассистировании |
| Авторы: | Михалкович, Олег Михайлович Барайшук, Сергей Михайлович |
| Ключевые слова: | морфология Ti пленок вакуумное осаждение ионное ассистирование тонкие пленки |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издательство: | МГУ им. М.В. Ломоносова |
| Библиографическое описание: | Михалкович, О. М. Морфология Ti пленки полученной на облученной ионами ксенона кремнии катодным вакуумным распылением при ионном ассистировании / О. М. Михалкович, С. М. Барайшук // Тезисы докладов 52-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 30 мая - 1 июня 2023 г. - Москва : МГУ им. М.В. Ломоносова, 2023. - С. 156. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/20060 |
| УДК: | 539.216.2 |
| Располагается в коллекциях: | 2023 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| morfologiya-ti-plenki-poluchennoj-na-obluchennoj-ionami-ksenona-kremnii-katodnym-vakuumnym-raspyleniem-pri-ionnom-assistirovanii.pdf | С. 156 | 119,79 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.