ISSN 2522-4468

  1. Репозиторий БГАТУ!
  2. Материалы конференций, сборники научных трудов
  3. Материалы зарубежных конференций
  4. 2023
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/20060
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.date.accessioned2023-10-24T08:20:26Z-
dc.date.available2023-10-24T08:20:26Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationМихалкович, О. М. Морфология Ti пленки полученной на облученной ионами ксенона кремнии катодным вакуумным распылением при ионном ассистировании / О. М. Михалкович, С. М. Барайшук // Тезисы докладов 52-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 30 мая - 1 июня 2023 г. - Москва : МГУ им. М.В. Ломоносова, 2023. - С. 156.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/20060-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherМГУ им. М.В. Ломоносоваru_RU
dc.subjectморфология Ti пленокru_RU
dc.subjectвакуумное осаждениеru_RU
dc.subjectионное ассистированиеru_RU
dc.subjectтонкие пленкиru_RU
dc.titleМорфология Ti пленки полученной на облученной ионами ксенона кремнии катодным вакуумным распылением при ионном ассистированииru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc539.216.2-
dc.relation.bookТезисы докладов 52-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 30 мая - 1 июня 2023 г.ru_RU
Располагается в коллекциях:2023

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
morfologiya-ti-plenki-poluchennoj-na-obluchennoj-ionami-ksenona-kremnii-katodnym-vakuumnym-raspyleniem-pri-ionnom-assistirovanii.pdfС. 156119,79 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.