ISSN 2522-4468

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/17860
Название: Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, нанесенных на кремний методом ионно-лучевого напыления Mo и W
Авторы: Шевченок, Александр Аркадьевич
Барайшук, Сергей Михайлович
Долгий, Валерий Казимирович
Ключевые слова: тонкие пленки
кремний
атомно-силовая микроскопия
нанесение металлических покрытий
Дата публикации: 2022
Издательство: Уральский федеральный университет
Библиографическое описание: Шевченок, А. А. Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, нанесенных на кремний методом ионно-лучевого напыления Mo и W / А. А. Шевченок, С. М. Барайшук, В. К. Долгий // Современные нанотехнологии (IWMN-2022) : сборник тезисов IV семинара, Екатеринбург, 24-27 августа 2022 г. - Екатеринбург : Уральский федеральный университет, 2022. - С. 51-52.
URI: https://rep.bsatu.by/handle/doc/17860
УДК: 539
Располагается в коллекциях:2022

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
osobennosti-formirovaniya-tonkih-plenok-funkcionalnyh-pokrytij-nanesennyh-na-kremnij-metodom-ionno-luchevogo-napyleniya-mo-i-w.pdfС. 51-52393,95 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.