Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/17860| Название: | Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, нанесенных на кремний методом ионно-лучевого напыления Mo и W |
| Авторы: | Шевченок, Александр Аркадьевич Барайшук, Сергей Михайлович Долгий, Валерий Казимирович |
| Ключевые слова: | тонкие пленки кремний атомно-силовая микроскопия нанесение металлических покрытий |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издательство: | Уральский федеральный университет |
| Библиографическое описание: | Шевченок, А. А. Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, нанесенных на кремний методом ионно-лучевого напыления Mo и W / А. А. Шевченок, С. М. Барайшук, В. К. Долгий // Современные нанотехнологии (IWMN-2022) : сборник тезисов IV семинара, Екатеринбург, 24-27 августа 2022 г. - Екатеринбург : Уральский федеральный университет, 2022. - С. 51-52. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/17860 |
| УДК: | 539 |
| Располагается в коллекциях: | 2022 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| osobennosti-formirovaniya-tonkih-plenok-funkcionalnyh-pokrytij-nanesennyh-na-kremnij-metodom-ionno-luchevogo-napyleniya-mo-i-w.pdf | С. 51-52 | 393,95 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.