ISSN 2522-4468

  1. Репозиторий БГАТУ!
  2. Материалы конференций, сборники научных трудов
  3. Материалы зарубежных конференций
  4. 2022
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/17860
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorШевченок, Александр Аркадьевич-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.contributor.authorДолгий, Валерий Казимирович-
dc.date.accessioned2023-02-28T11:43:17Z-
dc.date.available2023-02-28T11:43:17Z-
dc.date.issued2022-
dc.identifier.citationШевченок, А. А. Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, нанесенных на кремний методом ионно-лучевого напыления Mo и W / А. А. Шевченок, С. М. Барайшук, В. К. Долгий // Современные нанотехнологии (IWMN-2022) : сборник тезисов IV семинара, Екатеринбург, 24-27 августа 2022 г. - Екатеринбург : Уральский федеральный университет, 2022. - С. 51-52.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/17860-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherУральский федеральный университетru_RU
dc.subjectтонкие пленкиru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectатомно-силовая микроскопияru_RU
dc.subjectнанесение металлических покрытийru_RU
dc.titleОсобенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, нанесенных на кремний методом ионно-лучевого напыления Mo и Wru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc539-
dc.relation.bookСовременные нанотехнологии (IWMN-2022) : сборник тезисов IV семинара, Екатеринбург, 24-27 августа 2022 г.ru_RU
Располагается в коллекциях:2022

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
osobennosti-formirovaniya-tonkih-plenok-funkcionalnyh-pokrytij-nanesennyh-na-kremnij-metodom-ionno-luchevogo-napyleniya-mo-i-w.pdfС. 51-52393,95 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.