Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12900| Название: | Нанотвердость и топография поверхности кремния с покрытиями, нанесенными при ионном ассистировании |
| Авторы: | Тульев, Валентин Валентинович Уляшко, П. В. Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович |
| Ключевые слова: | ионное ассистирование нанотвердость кремний модифицирование поверхностей топография поверхности |
| Дата публикации: | 2006 |
| Издательство: | Изд-во Московского университета |
| Библиографическое описание: | Нанотвердость и топография поверхности кремния с покрытиями, нанесенными при ионном ассистировании / В. В. Тульев [и др.] // Тезисы докладов XXXVI международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 30 мая-1 июня 2006 г. - Москва : Изд-во Московского университета, 2006. - С. 151. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12900 |
| УДК: | 544.022 |
| Располагается в коллекциях: | 2006 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Nanotverdost' i topografiya poverhnosti kremniya s pokrytiyami, nanesennymi pri ionnom assistirovanii.doc.pdf | С. 151 | 154,43 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.