ISSN 2522-4468

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12900
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorТульев, Валентин Валентинович-
dc.contributor.authorУляшко, П. В.-
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.date.accessioned2021-05-25T07:20:56Z-
dc.date.available2021-05-25T07:20:56Z-
dc.date.issued2006-
dc.identifier.citationНанотвердость и топография поверхности кремния с покрытиями, нанесенными при ионном ассистировании / В. В. Тульев [и др.] // Тезисы докладов XXXVI международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 30 мая-1 июня 2006 г. - Москва : Изд-во Московского университета, 2006. - С. 151.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/12900-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherИзд-во Московского университетаru_RU
dc.subjectионное ассистированиеru_RU
dc.subjectнанотвердостьru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectмодифицирование поверхностейru_RU
dc.subjectтопография поверхностиru_RU
dc.titleНанотвердость и топография поверхности кремния с покрытиями, нанесенными при ионном ассистированииru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc544.022-
dc.relation.bookТезисы докладов XXXVI международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 30 мая-1 июня 2006 г.ru_RU
Располагается в коллекциях:2006

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Nanotverdost' i topografiya poverhnosti kremniya s pokrytiyami, nanesennymi pri ionnom assistirovanii.doc.pdfС. 151154,43 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.