Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12892| Название: | Модифицирование нанотвердости и морфологии поверхности кремния ионно-ассистированным нанесением тонких пленок |
| Авторы: | Барайшук, Сергей Михайлович Тульев, Валентин Валентинович Гременок, Валерий Феликсович Ташлыков, Игорь Серафимович |
| Ключевые слова: | тонкие пленки модифицирование поверхностей кремний ионно-ассистированное осаждение покрытий нанотвердость топография поверхности |
| Дата публикации: | 2009 |
| Издательство: | МГУ |
| Библиографическое описание: | Модифицирование нанотвердости и морфологии поверхности кремния ионно-ассистированным нанесением тонких пленок / С. М. Барайшук [и др.] // Тезисы докладов XXXIX международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 26 мая-28 мая 2009 г. - Москва : МГУ, 2009. - С. 126. |
| Аннотация: | Обсуждаются экспериментальные результаты по изучению механических свойств и топографии поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий Ti, Со, Zr и Мо. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12892 |
| УДК: | 544.022 |
| Располагается в коллекциях: | 2009 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Modificirovanie nanotverdosti i morfologii poverhnosti kremniya ionno-assistirovannym naneseniem tonkih plenok 2009.pdf | С. 126 | 50,43 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.