Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12892Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
| dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | - |
| dc.contributor.author | Гременок, Валерий Феликсович | - |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.date.accessioned | 2021-05-24T11:06:57Z | - |
| dc.date.available | 2021-05-24T11:06:57Z | - |
| dc.date.issued | 2009 | - |
| dc.identifier.citation | Модифицирование нанотвердости и морфологии поверхности кремния ионно-ассистированным нанесением тонких пленок / С. М. Барайшук [и др.] // Тезисы докладов XXXIX международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 26 мая-28 мая 2009 г. - Москва : МГУ, 2009. - С. 126. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12892 | - |
| dc.description.abstract | Обсуждаются экспериментальные результаты по изучению механических свойств и топографии поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий Ti, Со, Zr и Мо. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | МГУ | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
| dc.subject | модифицирование поверхностей | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное осаждение покрытий | ru_RU |
| dc.subject | нанотвердость | ru_RU |
| dc.subject | топография поверхности | ru_RU |
| dc.title | Модифицирование нанотвердости и морфологии поверхности кремния ионно-ассистированным нанесением тонких пленок | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 544.022 | - |
| dc.relation.book | Тезисы докладов XXXIX международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 26 мая-28 мая 2009 г. | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | 2009 | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Modificirovanie nanotverdosti i morfologii poverhnosti kremniya ionno-assistirovannym naneseniem tonkih plenok 2009.pdf | С. 126 | 50,43 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.