Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12891| Название: | Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении покрытий в условиях самооблучения |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Бобрович, Олег Георгиевич Барайшук, Сергей Михайлович Михалкович, Олег Михайлович |
| Ключевые слова: | ионное ассистирование тонкие пленки повреждения структуры кремния радиационные дефекты кремний самооблучение топография поверхности |
| Дата публикации: | 2005 |
| Издательство: | Изд-во УНЦ ДО |
| Библиографическое описание: | Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении покрытий в условиях самооблучения / И. С. Ташлыков [и др.] // Тезисы докладов XXXV международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 31 мая-2 июня 2005 г. - Москва : Изд-во УНЦ ДО, 2005. - С. 176. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12891 |
| УДК: | 539.211 |
| Располагается в коллекциях: | 2005 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Povrezhdenie struktury kremniya pri ionno-assistirovannom osazhdenii pokrytij v usloviyah samooblucheniya.pdf2005.pdf | С. 176 | 257,68 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.