ISSN 2522-4468

  1. Репозиторий БГАТУ!
  2. Материалы конференций, сборники научных трудов
  3. Материалы зарубежных конференций
  4. 2005
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12891
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.contributor.authorБобрович, Олег Георгиевич-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.date.accessioned2021-05-24T10:51:21Z-
dc.date.available2021-05-24T10:51:21Z-
dc.date.issued2005-
dc.identifier.citationПовреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении покрытий в условиях самооблучения / И. С. Ташлыков [и др.] // Тезисы докладов XXXV международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 31 мая-2 июня 2005 г. - Москва : Изд-во УНЦ ДО, 2005. - С. 176.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/12891-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherИзд-во УНЦ ДОru_RU
dc.subjectионное ассистированиеru_RU
dc.subjectтонкие пленкиru_RU
dc.subjectповреждения структуры кремнияru_RU
dc.subjectрадиационные дефектыru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectсамооблучениеru_RU
dc.subjectтопография поверхностиru_RU
dc.titleПовреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении покрытий в условиях самооблученияru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc539.211-
dc.relation.bookТезисы докладов XXXV международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 31 мая-2 июня 2005 г.ru_RU
Располагается в коллекциях:2005

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Povrezhdenie struktury kremniya pri ionno-assistirovannom osazhdenii pokrytij v usloviyah samooblucheniya.pdf2005.pdfС. 176257,68 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.