Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/27370| Название: | Нитрид бора как твердый планарный диффузионный источник для формирования субмикронных структур БИС |
| Авторы: | Новосядлий, Степан Петрович Бережанский, Василий Михайлович |
| Ключевые слова: | субмикронные технологии БИС нитрид бора ионно-плазменные технология диэлектрические пленки боросиликатное стекло |
| Дата публикации: | 2009 |
| Издательство: | БГАТУ |
| Библиографическое описание: | Новосядлий С. П. Нитрид бора как твердый планарный диффузионный источник для формирования субмикронных структур БИС / С. П. Новосядлий, В. М. Бережанский // Тракторы, автомобили, мобильные энергетические средства: проблемы и перспективы развития : доклады Международной научно-технической конференции, посвященной 80-летию со дня рождения доктора технических наук, профессора Скотникова В. А., Минск, 11-14 февраля 2009 г. - Минск : БГАТУ, 2009. - С. 500-501. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/27370 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференции по статьям |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| nitrid-bora-kak-tverdyj-planarnyj-diffuzionnyj-istochnik-dlya-formirovaniya-submikronnyh-struktur-bis.pdf | С. 500-501 | 159,05 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.