ISSN 2522-4468

  1. Репозиторий БГАТУ!
  2. Материалы конференций, сборники научных трудов
  3. Материалы конференций БГАТУ
  4. Тракторы, автомобили, мобильные энергетические средства: проблемы и перспективы развития
  5. За 2009 год
  6. Материалы конференции по статьям
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/27370
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorНовосядлий, Степан Петрович-
dc.contributor.authorБережанский, Василий Михайлович-
dc.date.accessioned2026-09-17T12:50:15Z-
dc.date.available2026-09-17T12:50:15Z-
dc.date.issued2009-
dc.identifier.citationНовосядлий С. П. Нитрид бора как твердый планарный диффузионный источник для формирования субмикронных структур БИС / С. П. Новосядлий, В. М. Бережанский // Тракторы, автомобили, мобильные энергетические средства: проблемы и перспективы развития : доклады Международной научно-технической конференции, посвященной 80-летию со дня рождения доктора технических наук, профессора Скотникова В. А., Минск, 11-14 февраля 2009 г. - Минск : БГАТУ, 2009. - С. 500-501.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/27370-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГАТУru_RU
dc.subjectсубмикронные технологии БИСru_RU
dc.subjectнитрид бораru_RU
dc.subjectионно-плазменные технологияru_RU
dc.subjectдиэлектрические пленкиru_RU
dc.subjectборосиликатное стеклоru_RU
dc.titleНитрид бора как твердый планарный диффузионный источник для формирования субмикронных структур БИСru_RU
dc.relation.bookТракторы, автомобили, мобильные энергетические средства: проблемы и перспективы развития : доклады Международной научно-технической конференции, посвященной 80-летию со дня рождения доктора технических наук, профессора Скотникова В. А., Минск, 11-14 февраля 2009 г.ru_RU
Располагается в коллекциях:Материалы конференции по статьям

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
nitrid-bora-kak-tverdyj-planarnyj-diffuzionnyj-istochnik-dlya-formirovaniya-submikronnyh-struktur-bis.pdfС. 500-501159,05 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.