Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/25008| Название: | Глубинное проникновение в подложку SI компонентов молибденовой пленки при ее формировании катодным вакуумным распылением с ионным ассистированием |
| Авторы: | Михалкович, Олег Михайлович Куликаускас, Вацловас Станиславович Барайшук, Сергей Михайлович |
| Ключевые слова: | катодное вакуумное распыление ионное ассистирование молибденовая пленка композиционные покрытия альтернативная энергетика |
| Дата публикации: | 2025 |
| Издательство: | БГАТУ |
| Библиографическое описание: | Михалкович,О. М. Глубинное проникновение в подложку SI компонентов молибденовой пленки при ее формировании катодным вакуумным распылением с ионным ассистированием / О. М. Михалкович, В. С. Куликаускас, С. М. Барайшук // Энергосбережение - важнейшее условие инновационного развития АПК : материалы Международной научно-технической конференции, приуроченной к 50-летию кафедры автоматизированных систем управления производством, Минск, 18-19 декабря 2025 г. - Минск : БГАТУ, 2025. - С. 262-265. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/25008 |
| УДК: | 621.793.184 |
| Располагается в коллекциях: | Энергосбережение - важнейшее условие инновационного развития АПК |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| glubinnoe-proniknovenie-v-podlozhku-si-komponentov-molibdenovoj-plenki-pri-ee-formirovanii-katodnym-vakuumnym-raspyleniem-s-ionnym-assistirovaniem.pdf | С. 262-265 | 406,79 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.