Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/25008Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
| dc.contributor.author | Куликаускас, Вацловас Станиславович | - |
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
| dc.date.accessioned | 2026-02-25T11:42:05Z | - |
| dc.date.available | 2026-02-25T11:42:05Z | - |
| dc.date.issued | 2025 | - |
| dc.identifier.citation | Михалкович,О. М. Глубинное проникновение в подложку SI компонентов молибденовой пленки при ее формировании катодным вакуумным распылением с ионным ассистированием / О. М. Михалкович, В. С. Куликаускас, С. М. Барайшук // Энергосбережение - важнейшее условие инновационного развития АПК : материалы Международной научно-технической конференции, приуроченной к 50-летию кафедры автоматизированных систем управления производством, Минск, 18-19 декабря 2025 г. - Минск : БГАТУ, 2025. - С. 262-265. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://rep.bsatu.by/handle/doc/25008 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГАТУ | ru_RU |
| dc.subject | катодное вакуумное распыление | ru_RU |
| dc.subject | ионное ассистирование | ru_RU |
| dc.subject | молибденовая пленка | ru_RU |
| dc.subject | композиционные покрытия | ru_RU |
| dc.subject | альтернативная энергетика | ru_RU |
| dc.title | Глубинное проникновение в подложку SI компонентов молибденовой пленки при ее формировании катодным вакуумным распылением с ионным ассистированием | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 621.793.184 | - |
| dc.relation.book | Энергосбережение - важнейшее условие инновационного развития АПК : материалы Международной научно-технической конференции приуроченной к 50-летию кафедры автоматизированных систем управления производством, Минск, 18-19 декабря 2025 г. | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Энергосбережение - важнейшее условие инновационного развития АПК | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| glubinnoe-proniknovenie-v-podlozhku-si-komponentov-molibdenovoj-plenki-pri-ee-formirovanii-katodnym-vakuumnym-raspyleniem-s-ionnym-assistirovaniem.pdf | С. 262-265 | 406,79 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.