Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/24079| Название: | Оптические методы определения толщины тонких пленок в микроэлектронике |
| Авторы: | Донденко, Арсений Максимович Шевченок, Александр Аркадьевич |
| Ключевые слова: | микроэлектроника толщина тонких пленок оптические методы |
| Дата публикации: | 2025 |
| Издательство: | БГАТУ |
| Библиографическое описание: | Донденко, А. М. Оптические методы определения толщины тонких пленок в микроэлектронике / А. М. Донденко ; науч. рук. А. А. Шевченок // НИРС БГАТУ-2025 : сборник научных трудов студентов и магистрантов / редкол.: И. С. Крук [и др.]. - Минск : БГАТУ, 2025. - С. 34-37. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/24079 |
| УДК: | 539.21 |
| Располагается в коллекциях: | НИРС БГАТУ-2025 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| dondenko-a-m-opticheskie-metody-opredeleniya-tolshchiny-tonkih-plenok-v-mikroehlektronike.pdf | С. 34-37 | 252,17 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.