Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/24079Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Донденко, Арсений Максимович | - |
| dc.contributor.author | Шевченок, Александр Аркадьевич | - |
| dc.date.accessioned | 2025-10-22T08:10:59Z | - |
| dc.date.available | 2025-10-22T08:10:59Z | - |
| dc.date.issued | 2025 | - |
| dc.identifier.citation | Донденко, А. М. Оптические методы определения толщины тонких пленок в микроэлектронике / А. М. Донденко ; науч. рук. А. А. Шевченок // НИРС БГАТУ-2025 : сборник научных трудов студентов и магистрантов / редкол.: И. С. Крук [и др.]. - Минск : БГАТУ, 2025. - С. 34-37. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://rep.bsatu.by/handle/doc/24079 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГАТУ | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | толщина тонких пленок | ru_RU |
| dc.subject | оптические методы | ru_RU |
| dc.title | Оптические методы определения толщины тонких пленок в микроэлектронике | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 539.21 | - |
| dc.relation.book | НИРС БГАТУ-2025 : сборник научных трудов студентови магистрантов, Минск, 2025 | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | НИРС БГАТУ-2025 | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| dondenko-a-m-opticheskie-metody-opredeleniya-tolshchiny-tonkih-plenok-v-mikroehlektronike.pdf | С. 34-37 | 252,17 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.