Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/20588| Название: | Исследование свойств пленки на основе Mо на подложке Si для создания тонкопленочного ИК-излучателя |
| Другие названия: | Investigation of the properties of Mo-based film on Si substrate for prepare of thin-film IR emitter |
| Авторы: | Михалкович, Олег Михайлович Барайшук, Сергей Михайлович Ткаченко, Тамара Михайловна |
| Ключевые слова: | тонкие пленки композиционный состав структура поверхности ИК-излучатель thin films composition surface structure IR emitter |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издательство: | БГУ |
| Библиографическое описание: | Михалкович, О. М. Исследование свойств пленки на основе Mо на подложке Si для создания тонкопленочного ИК-излучателя = Investigation of the properties of Mo-based film on Si substrate for prepare of thin-film IR emitter / О. М. Михалкович, С. М. Барайшук, Т. М. Ткаченко // Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation with solids : материалы 15-й Международной конференции, Минск, 26-29 сентября 2023 г. - Минск : БГУ, 2023. - С. 414-416. |
| Аннотация: | В работе представлены исследования композиционного состава, топографии поверхности и удельного сопротивления структур пленка на основе Мо/кремний изготовленных комбинацией различных методов (осаждение покрытий ассистированное собственными ионами (ОПАСИ) и магнетронного распыления) и режимов нанесения. In this paper a composite structure, surface topography and resistivity of Mo film/silicon structures prepared by combination of various methods (self-ion-assisted deposition (SIAD) of coating and magnetron sputtering) and dep-osition modes are discussed. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/20588 |
| УДК: | 621.793 |
| Располагается в коллекциях: | 2023 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| issledovanie-svojstv-plenki-na-osnove-mo-na-podlozhke-si-dlya-sozdaniya-tonkoplenochnogo-ik-izluchatelya.pdf | С. 414-416 | 479,66 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.