Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/17818| Название: | Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта |
| Другие названия: | Modification of surface layers of silicon and glass by ion-beam sputtering of titanium and cobalt |
| Авторы: | Михалкович, Олег Михайлович Барайшук, Сергей Михайлович Бобрович, Олег Георгиевич |
| Ключевые слова: | ассистированное собственными ионами осаждение сканирующая зондовая микроскопия тонкие пленки гидрофильная поверхность self-ion assisted deposition scanning probe microscopy hydrophilic surface thin films |
| Дата публикации: | 2022 |
| Библиографическое описание: | Михалкович, О. М. Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта = Modification of surface layers of silicon and glass by ion-beam sputtering of titanium and cobalt / О. М. Михалкович, С. М. Барайшук, О. Г. Бобрович // Материалы и структуры современной электроники : материалы X Международной научной конференции, Минск, 12-14 октября 2022 г. - Минск : БГУ, 2022. - С. 147-151. |
| Аннотация: | Изучены морфология и гидрофильность поверхности металлических (Ti и Сo) пленок на кремнии после облучения ионами Xe+ и на стекле осажденных в условиях ассистирования собственными ионами. The morphology and hydrophilicity of the surface of metallic (Ti and Co) films on silicon irradiated with xenon ions and on glass deposited with self-ion assisted were studied. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/17818 |
| УДК: | Материалы и структуры современной электроники : материалы X Международной научной конференции, Минск, 12-14 октября 2022 г. |
| Располагается в коллекциях: | 2022 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| modifikaciya-poverhnostnyh-sloev-kremniya-i-stekla-ionno-luchevym-raspyleniem-titana-i-kobalta.pdf | С. 147-151 | 583,14 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.