ISSN 2522-4468

  1. Репозиторий БГАТУ!
  2. Материалы конференций, сборники научных трудов
  3. Материалы республиканских конференций
  4. 2022
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/17818
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.contributor.authorБобрович, Олег Георгиевич-
dc.date.accessioned2023-02-22T09:48:51Z-
dc.date.available2023-02-22T09:48:51Z-
dc.date.issued2022-
dc.identifier.citationМихалкович, О. М. Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта = Modification of surface layers of silicon and glass by ion-beam sputtering of titanium and cobalt / О. М. Михалкович, С. М. Барайшук, О. Г. Бобрович // Материалы и структуры современной электроники : материалы X Международной научной конференции, Минск, 12-14 октября 2022 г. - Минск : БГУ, 2022. - С. 147-151.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/17818-
dc.description.abstractИзучены морфология и гидрофильность поверхности металлических (Ti и Сo) пленок на кремнии после облучения ионами Xe+ и на стекле осажденных в условиях ассистирования собственными ионами. The morphology and hydrophilicity of the surface of metallic (Ti and Co) films on silicon irradiated with xenon ions and on glass deposited with self-ion assisted were studied.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.subjectассистированное собственными ионами осаждениеru_RU
dc.subjectсканирующая зондовая микроскопияru_RU
dc.subjectтонкие пленкиru_RU
dc.subjectгидрофильная поверхностьru_RU
dc.subjectself-ion assisted depositionru_RU
dc.subjectscanning probe microscopyru_RU
dc.subjecthydrophilic surfaceru_RU
dc.subjectthin filmsru_RU
dc.titleМодификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальтаru_RU
dc.title.alternativeModification of surface layers of silicon and glass by ion-beam sputtering of titanium and cobaltru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udcМатериалы и структуры современной электроники : материалы X Международной научной конференции, Минск, 12-14 октября 2022 г.-
dc.relation.bookБГУru_RU
Располагается в коллекциях:2022

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
modifikaciya-poverhnostnyh-sloev-kremniya-i-stekla-ionno-luchevym-raspyleniem-titana-i-kobalta.pdfС. 147-151583,14 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.