Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/15638| Название: | Синтез, структура и свойства сегнетоэлектриков SR BI2TA2O9 для осаждения тонких пленок в микроэлектронике |
| Авторы: | Шевченок, Александр Аркадьевич |
| Ключевые слова: | осаждение тонких пленок микроэлектроника сегнетоэлектрики сегнетоэлектрики SR BI2TA2O9 |
| Дата публикации: | 2021 |
| Издательство: | БГАТУ |
| Библиографическое описание: | Шевченок, А. А. Синтез, структура и свойства сегнетоэлектриков SR BI2TA2O9 для осаждения тонких пленок в микроэлектронике / А. А. Шевченок // Энергосбережение - важнейшее условие инновационного развития АПК : материалы Международной научно-технической конференции, Минск, 21-22 декабря 2021 г. - Минск : БГАТУ, 2021. - С. 390-393. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/15638 |
| УДК: | 539.23:621.3.049.77 |
| Располагается в коллекциях: | Энергосбережение – важнейшее условие инновационного развития АПК |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| SHevchenok-A-A-Sintez-struktura-i-svojstva-segnetoehlektrikov-SR-BI2TA2O9-dlya-osazhdeniya-tonkih-plenok-v-mikroehlektronike.pdf | С. 390-393 | 301,12 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.