Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/14597| Название: | Features of the formation of thin films of functional coatings deposited on silicon by ion-beam sputtering of Mo, Cr, W |
| Другие названия: | Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, нанесенных на кремний методом ионно-лучевого распыления Mo, Cr, W |
| Авторы: | Baraishuk, Sergey Mikhailovich Dolgiy, Valerii Kazimirovich Shevchenok, Aleksandr Arkadevich Wiertel, M Budzynski, M. Turavets, Anton Ivanovich Mikhalkovich, Oleg Mikhailovich Барайшук, Сергей Михайлович Долгий, Валерий Казимирович Шевченок, Александр Аркадьевич Виртель, М. Будзинский, М. Туровец, Антон Иванович Михалкович, Олег Михайлович |
| Ключевые слова: | атомно-силовая микроскопия тонкие пленки металлов композиции ионно-лучевое осаждение структура поверхностей atomic force microscopy surface structure ion-beam deposition composition thin films of metals |
| Дата публикации: | 2021 |
| Библиографическое описание: | Features of the formation of thin films of functional coatings deposited on silicon by ion-beam sputtering of Mo, Cr, W / S. Baraishuk [и др.] // Actual Problems of Solid State Physics = Актуальный проблемы физики твердого тела : Proceedings of the IХ International Scientific Conference, Minsk, 22-26 November 2021. 2 b. B. 2. - Minsk : Publisher A. Varaksin, 2021. - P. 14-18. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/14597 |
| УДК: | 538.975:539.1.06 |
| Располагается в коллекциях: | 2021 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Features-of-the-formation-of-thin-films-of-functional-coatings-deposited-on-silicon-by-ion-beam-sputtering-of-Mo-Cr-W.pdf | P. 14-18 | 710,25 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.