ISSN 2522-4468

  1. Репозиторий БГАТУ!
  2. Материалы конференций, сборники научных трудов
  3. Материалы республиканских конференций
  4. 2021
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/14597
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorBaraishuk, Sergey Mikhailovich-
dc.contributor.authorDolgiy, Valerii Kazimirovich-
dc.contributor.authorShevchenok, Aleksandr Arkadevich-
dc.contributor.authorWiertel, M-
dc.contributor.authorBudzynski, M.-
dc.contributor.authorTuravets, Anton Ivanovich-
dc.contributor.authorMikhalkovich, Oleg Mikhailovich-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.contributor.authorДолгий, Валерий Казимирович-
dc.contributor.authorШевченок, Александр Аркадьевич-
dc.contributor.authorВиртель, М.-
dc.contributor.authorБудзинский, М.-
dc.contributor.authorТуровец, Антон Иванович-
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.date.accessioned2022-01-24T07:49:08Z-
dc.date.available2022-01-24T07:49:08Z-
dc.date.issued2021-
dc.identifier.citationFeatures of the formation of thin films of functional coatings deposited on silicon by ion-beam sputtering of Mo, Cr, W / S. Baraishuk [и др.] // Actual Problems of Solid State Physics = Актуальный проблемы физики твердого тела : Proceedings of the IХ International Scientific Conference, Minsk, 22-26 November 2021. 2 b. B. 2. - Minsk : Publisher A. Varaksin, 2021. - P. 14-18.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/14597-
dc.language.isoenru_RU
dc.subjectатомно-силовая микроскопияru_RU
dc.subjectтонкие пленки металловru_RU
dc.subjectкомпозицииru_RU
dc.subjectионно-лучевое осаждениеru_RU
dc.subjectструктура поверхностейru_RU
dc.subjectatomic force microscopyru_RU
dc.subjectsurface structureru_RU
dc.subjection-beam depositionru_RU
dc.subjectcompositionru_RU
dc.subjectthin films of metalsru_RU
dc.titleFeatures of the formation of thin films of functional coatings deposited on silicon by ion-beam sputtering of Mo, Cr, Wen
dc.title.alternativeОсобенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, нанесенных на кремний методом ионно-лучевого распыления Mo, Cr, Wru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc538.975:539.1.06-
dc.relation.bookActual Problems of Solid State Physics = Актуальный проблемы физики твердого тела : Proceedings of the IХ International Scientific Conference, Minsk, 22-26 November 2021. 2 b. B. 2ru_RU
Располагается в коллекциях:2021

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Features-of-the-formation-of-thin-films-of-functional-coatings-deposited-on-silicon-by-ion-beam-sputtering-of-Mo-Cr-W.pdfP. 14-18710,25 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.