Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12873| Название: | Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном осаждении металлопокрытий |
| Авторы: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович |
| Ключевые слова: | дефектообразование ионно-ассистированные осаждения металлосодержащие покрытия кремний металлопокрытия тонкие пленки |
| Дата публикации: | 2004 |
| Издательство: | БГУ |
| Библиографическое описание: | Бобрович, О. Г. Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном осаждении металлопокрытий / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук // Вузовская наука, промышленность, международное сотрудничество : сборник научных трудов V Международной научно-практической конференции, Минск, 13-15 октября 2004 г. - Минск : БГУ, 2004. - С. 118-121. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12873 |
| УДК: | 544.022 |
| Располагается в коллекциях: | 2004 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Bobrovich, O. G. Defektoobrazovanie v kremnii pri ionno-assistirovannom osazhdenii metallopokrytij.pdf2004.pdf | С. 118-121 | 1,36 MB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.