ISSN 2522-4468

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12873
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorБобрович, Олег Георгиевич-
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.date.accessioned2021-05-21T06:26:33Z-
dc.date.available2021-05-21T06:26:33Z-
dc.date.issued2004-
dc.identifier.citationБобрович, О. Г. Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном осаждении металлопокрытий / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук // Вузовская наука, промышленность, международное сотрудничество : сборник научных трудов V Международной научно-практической конференции, Минск, 13-15 октября 2004 г. - Минск : БГУ, 2004. - С. 118-121.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/12873-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУru_RU
dc.subjectдефектообразованиеru_RU
dc.subjectионно-ассистированные осажденияru_RU
dc.subjectметаллосодержащие покрытияru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectметаллопокрытияru_RU
dc.subjectтонкие пленкиru_RU
dc.titleДефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном осаждении металлопокрытийru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc544.022-
dc.relation.bookВузовская наука, промышленность, международное сотрудничество : сборник научных трудов V Международной научно-практической конференции, Минск, 13-15 октября 2004 г.ru_RU
Располагается в коллекциях:2004

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Bobrovich, O. G. Defektoobrazovanie v kremnii pri ionno-assistirovannom osazhdenii metallopokrytij.pdf2004.pdfС. 118-1211,36 MBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.