Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12578| Название: | Нанотвердость пленок и диффузия атомов Ti и Со в кремнии, модифицированном ионно-ассистированным осаждением покрытий в сочетании с облучением ионами Хе |
| Авторы: | Михалкович, Олег Михайлович Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович |
| Ключевые слова: | Si Ti Со Хе ионно-ассистированное осаждение покрытий нанотвердость диффузионные процессы облучение ионами |
| Дата публикации: | 2012 |
| Издательство: | Издательский центр БГУ |
| Библиографическое описание: | Михалкович, О. М. Нанотвердость пленок и диффузия атомов Ti и Со в кремнии, модифицированном ионно-ассистированным осаждением покрытий в сочетании с облучением ионами Хе / О. М. Михалкович, И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук // Материалы и структуры современной электроники : сборник научных трудов V Международной научной конференции, Минск, 10–11 октября 2012 г. - Минск : Издательский центр БГУ, 2012. - С. 54–56. |
| Аннотация: | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si при модифицировании осаждением Ti и Со покрытий в условиях ассистирования собственными ионами с энергией 7 кэВ, когда образцы кремния были предварительно облученными ионами ксенона и необлученными, а также изучения нанотвердости полученных структур. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12578 |
| УДК: | 539.2 |
| Располагается в коллекциях: | 2012 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Mihalkovich, O. M. Nanotverdost' plenok i diffuziya atomov Ti i So v kremnii, modificirovannom ionno-assistirovannym osazhdeniem pokrytij v sochetanii s oblucheniem ionami He.pdf | С. 54–56 | 249,33 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.