Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12130| Название: | Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Mo |
| Авторы: | Тульев, Валентин Валентинович Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович |
| Ключевые слова: | металлосодержащие покрытия метод ионно-ассистированного осаждения кремний элементный состав компьютерное моделирование модуль Юнга резерфордовское обратное рассеяние покрытия |
| Дата публикации: | 2010 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Тульев, В. В. Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Mo / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук // Труды БГТУ. Серия VI. Физико-математические науки и информатика. - 2010. - Вып. XVIII. - С. 91-95. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12130 |
| УДК: | 539.1.06:539.23.234 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи из научных журналов |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| ehlementnyj-sostav-struktura-i-fiziko-mekhanicheskie-svojstva-poverhnosti-kremniya-modificirovannoj-ionno-assistiruemym-osazhdeniem-pokrytij-na-osnove-ti-co-zr-i-mo.pdf | С. 91-95 | 391,44 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.