Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12130
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | - |
dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
dc.date.accessioned | 2021-02-25T11:41:39Z | - |
dc.date.available | 2021-02-25T11:41:39Z | - |
dc.date.issued | 2010 | - |
dc.identifier.citation | Тульев, В. В. Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Mo / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук // Труды БГТУ. Серия VI. Физико-математические науки и информатика. - 2010. - Вып. XVIII. - С. 91-95. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12130 | - |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | БГТУ | ru_RU |
dc.subject | металлосодержащие покрытия | ru_RU |
dc.subject | метод ионно-ассистированного осаждения | ru_RU |
dc.subject | кремний | ru_RU |
dc.subject | элементный состав | ru_RU |
dc.subject | компьютерное моделирование | ru_RU |
dc.subject | модуль Юнга | ru_RU |
dc.subject | резерфордовское обратное рассеяние | ru_RU |
dc.subject | покрытия | ru_RU |
dc.title | Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Mo | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
dc.identifier.udc | 539.1.06:539.23.234 | - |
dc.relation.book | Труды БГТУ. Серия VI. Физико-математические науки и информатика | ru_RU |
Располагается в коллекциях: | Статьи из научных журналов |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
ehlementnyj-sostav-struktura-i-fiziko-mekhanicheskie-svojstva-poverhnosti-kremniya-modificirovannoj-ionno-assistiruemym-osazhdeniem-pokrytij-na-osnove-ti-co-zr-i-mo.pdf | С. 91-95 | 391,44 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.