ISSN 2522-4468

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12130
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorТульев, Валентин Валентинович-
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.date.accessioned2021-02-25T11:41:39Z-
dc.date.available2021-02-25T11:41:39Z-
dc.date.issued2010-
dc.identifier.citationТульев, В. В. Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Mo / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук // Труды БГТУ. Серия VI. Физико-математические науки и информатика. - 2010. - Вып. XVIII. - С. 91-95.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/12130-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГТУru_RU
dc.subjectметаллосодержащие покрытияru_RU
dc.subjectметод ионно-ассистированного осажденияru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectэлементный составru_RU
dc.subjectкомпьютерное моделированиеru_RU
dc.subjectмодуль Юнгаru_RU
dc.subjectрезерфордовское обратное рассеяниеru_RU
dc.subjectпокрытияru_RU
dc.titleЭлементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Moru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc539.1.06:539.23.234-
dc.relation.bookТруды БГТУ. Серия VI. Физико-математические науки и информатикаru_RU
Располагается в коллекциях:Статьи из научных журналов



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.