Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12074| Название: | Применение метода атомно-силовой микроскопии для исследования морфологии поверхности тонких пленок, сформированных методом ионно-ассистированного осаждения |
| Авторы: | Яковенко, Юлия Сергеевна Барайшук, Сергей Михайлович Ташлыкова-Бушкевич, Ия Игоревна Ташлыков, Игорь Серафимович Михалкович, Олег Михайлович |
| Ключевые слова: | атомно-силовая микроскопия тонкие пленки ионно-ассистированные осаждения формирование пленок |
| Дата публикации: | 2016 |
| Издательство: | Беларуская навука |
| Библиографическое описание: | Применение метода атомно-силовой микроскопии для исследования морфологии поверхности тонких пленок, сформированных методом ионно-ассистированного осаждения / Ю. С. Яковенко [и др.] // Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии : сборник докладов ХII Международной конференции, Минск, 18-21 октября 2016 г. - Минск : Беларуская навука, 2016. - С. 94-98. |
| Аннотация: | В работе представлены результаты исследования топографии поверхности тонких пленок состава Al – 1,0 ат.% Cr, Al – 1,5 ат.% Fe, сформированных ионно-ассистированным осаждением на стеклянных подложках. Получены данные по шероховатости исследованных поверхностей. Обсуждается процесс формирования пленок. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12074 |
| УДК: | 544 |
| Располагается в коллекциях: | 2016 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| primenenie-metoda-atomno-silovoj-mikroskopii-dlya-issledovaniya-morfologii-poverhnosti-tonkih-plenok-sformirovannyh-metodom-ionno-assistirovannogo-osazhdeniya.pdf | С. 94-98 | 763,28 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.