ISSN 2522-4468

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12072
Название: Структура и повреждение кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок
Другие названия: Composition, structure and surface morphology of silicon modified by ion dynamic mixing
Авторы: Ташлыков, Игорь Серафимович
Барайшук, Сергей Михайлович
Михалкович, Олег
Антонович, Игорь
Ключевые слова: топография
кремний
повреждение структуры кремния
ионно-ассистированное нанесение покрытий
модифицирование поверхностей
silicon
surface
surface morphology
Дата публикации:  208
Библиографическое описание: Структура и повреждение кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок = Composition, structure and surface morphology of silicon modified by ion dynamic mixing / И. Ташлыков [и др.] // Przeglad elektrotechniczny. - 2008. - R. 84. - NR 3, P.P. 112–114.
Аннотация: В настоящей работе обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры, топографии поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения. The composition, structure deterioration and morphology of silicon modifying by dynamic ion mixing in self-irradiating was investigated.
URI: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12072
УДК: 544
Располагается в коллекциях:Статьи из научных журналов

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
struktura-i-povrezhdenie-kremniya-modificirovannogo-ionno-assistirovannym-naneseniem-tonkih-plenok.pdfP. 112–114400,43 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.