ISSN 2522-4468

  1. Репозиторий БГАТУ!
  2. Факультеты
  3. Агроэнергетический факультет
  4. Научные публикации факультета
  5. Статьи из научных журналов
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12072
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.contributor.authorАнтонович, Игорь-
dc.date.accessioned2021-02-22T10:45:51Z-
dc.date.available2021-02-22T10:45:51Z-
dc.date.issued2008-
dc.identifier.citationСтруктура и повреждение кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок = Composition, structure and surface morphology of silicon modified by ion dynamic mixing / И. Ташлыков [и др.] // Przeglad elektrotechniczny. - 2008. - R. 84. - NR 3, P.P. 112–114.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/12072-
dc.description.abstractВ настоящей работе обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры, топографии поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения. The composition, structure deterioration and morphology of silicon modifying by dynamic ion mixing in self-irradiating was investigated.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.subjectтопографияru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectповреждение структуры кремнияru_RU
dc.subjectионно-ассистированное нанесение покрытийru_RU
dc.subjectмодифицирование поверхностейru_RU
dc.subjectsiliconru_RU
dc.subjectsurfaceru_RU
dc.subjectsurface morphologyru_RU
dc.titleСтруктура и повреждение кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленокru_RU
dc.title.alternativeComposition, structure and surface morphology of silicon modified by ion dynamic mixingru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc544-
dc.relation.bookPrzeglad elektrotechnicznyru_RU
Располагается в коллекциях:Статьи из научных журналов

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
struktura-i-povrezhdenie-kremniya-modificirovannogo-ionno-assistirovannym-naneseniem-tonkih-plenok.pdfP. 112–114400,43 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.