Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/25201| Название: | Кремниевый материал для оснований ГИМС из отходов микроэлектронного производства |
| Авторы: | Шевченок, Александр Аркадьевич Королевич, Майя Васильевна Андрианов, Виктор Михайлович |
| Ключевые слова: | кремний кремниевые порошки гибридные интегральные микросхемы ГИМС подложка |
| Дата публикации: | 2025 |
| Издательство: | НПЦ НАН Беларуси по материаловедению |
| Библиографическое описание: | Шевченок, А. А. Кремниевый материал для оснований ГИМС из отходов микроэлектронного производства / А. А. Шевченок, М. В. Королевич, В. М. Андрианов // Актуальные проблемы физики твердого тела = Actual problems of solid state physics : сборник докладов XI Международной научной конференции, Минск, 19–23 мая 2025 г. - Минск : НПЦ НАН Беларуси по материаловедению, 2025. - С. 60-63. |
| Аннотация: | Объектом исследований являлись экспериментальные образцы, сформованные и спеченные из кремниевых порошков, полученных из отходов монокристаллических пластин микроэлектронного производства. Исследованы физико-механические и теплофизические свойства экспериментальных образцов, показана принципиальная возможность их использования в качестве оснований гибридных интегральных микросхем. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/25201 |
| УДК: | 539.21 |
| Располагается в коллекциях: | 2025 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| kremnievyj-material-dlya-osnovanij-gims-iz-othodov-mikroehlektronnogo-proizvodstva.pdf | С. 60-63 | 488,54 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.