ISSN 2522-4468

  1. Репозиторий БГАТУ!
  2. Материалы конференций, сборники научных трудов
  3. Материалы республиканских конференций
  4. 2025
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/25201
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorШевченок, Александр Аркадьевич-
dc.contributor.authorКоролевич, Майя Васильевна-
dc.contributor.authorАндрианов, Виктор Михайлович-
dc.date.accessioned2026-03-11T13:15:03Z-
dc.date.available2026-03-11T13:15:03Z-
dc.date.issued2025-
dc.identifier.citationШевченок, А. А. Кремниевый материал для оснований ГИМС из отходов микроэлектронного производства / А. А. Шевченок, М. В. Королевич, В. М. Андрианов // Актуальные проблемы физики твердого тела = Actual problems of solid state physics : сборник докладов XI Международной научной конференции, Минск, 19–23 мая 2025 г. - Минск : НПЦ НАН Беларуси по материаловедению, 2025. - С. 60-63.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/25201-
dc.description.abstractОбъектом исследований являлись экспериментальные образцы, сформованные и спеченные из кремниевых порошков, полученных из отходов монокристаллических пластин микроэлектронного производства. Исследованы физико-механические и теплофизические свойства экспериментальных образцов, показана принципиальная возможность их использования в качестве оснований гибридных интегральных микросхем.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherНПЦ НАН Беларуси по материаловедениюru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectкремниевые порошкиru_RU
dc.subjectгибридные интегральные микросхемыru_RU
dc.subjectГИМСru_RU
dc.subjectподложкаru_RU
dc.titleКремниевый материал для оснований ГИМС из отходов микроэлектронного производстваru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc539.21-
dc.relation.bookАктуальные проблемы физики твердого тела = Actual problems of solid state physics : сборник докладов XI Международной научной конференции, Минск, 19–23 мая 2025 г.ru_RU
Располагается в коллекциях:2025

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
kremnievyj-material-dlya-osnovanij-gims-iz-othodov-mikroehlektronnogo-proizvodstva.pdfС. 60-63488,54 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.