Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/17817| Название: | Диагностика поверхности пленок на основе Ti и V для сенсорных элементов |
| Другие названия: | Diagnostics of the surface of films based on Ti and V for sensor elements |
| Авторы: | Барайшук, Сергей Михайлович Мельникова, Александра Сергеевна Голосов, Д. А. Шевченок, Александр Аркадьевич Долгий, Валерий Казимирович |
| Ключевые слова: | сенсоры тонкие пленки топография поверхностей магнетронное распыление тыльные контакты sensors thin films surface topography magnetron sputtering rear contact |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издательство: | БГУ |
| Библиографическое описание: | Диагностика поверхности пленок на основе Ti и V для сенсорных элементов = Diagnostics of the surface of films based on Ti and V for sensor elements / С. М. Барайшук [и др.] // Материалы и структуры современной электроники : материалы X Международной научной конференции, Минск, 12-14 октября 2022 г. - Минск : БГУ, 2022. - С. 21-26. |
| Аннотация: | Проведены исследования топографии пленок оксида ванадия осажденных на Si3N4/Si с предварительным осаждением Ti тыльного электрода и без него. Показано, что процессы формирования зеренной структуры наблюдаются при температурах более 300 °С. The topography of vanadium oxide films deposited on Si3N4/Si with and without preliminary Ti deposition of the rear electrode was studied. It is shown that the processes of grain structure formation are observed at temperatures above 300 °C. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/17817 |
| УДК: | 539 |
| Располагается в коллекциях: | 2022 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| diagnostika-poverhnosti-plenok-na-osnove-ti-i-v-dlya-sensornyh-ehlementov.pdf | С. 21-26 | 1,35 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.