Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/14600| Название: | Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремние ионно-лучевым распылением Mo, Cr |
| Авторы: | Барайшук, Сергей Михайлович Вертель, М. Будзинский, М. Бобрович, Олег Георгиевич Михалкович, Олег Михайлович |
| Ключевые слова: | тонкие пленки ионно-лучевое распыление металлические покрытия ионно-ассистированное осаждение атомно-силовая микроскопия |
| Дата публикации: | 2021 |
| Библиографическое описание: | Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремние ионно-лучевым распылением Mo, Cr = Features of the formation of thin films of functional coatings deposited on silicon by ion-beam sputtering of Mo, Cr / С. М. Барайшук [и др.] // Передовые технологии и материалы будущего [Электронный ресурс] : сборник статей IV Международной научно-технической конференции «Минские научные чтения-2021», Минск, 9 декабря 2021 г. В 3 т. Т. 2. - Минск : БГТУ, 2021. - С. 25-30. |
| Аннотация: | В данной работе с использованием методов РОР, растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии установлены состав и структура металлических (Mo, Cr) покрытий, осажденных на (111) Si в условиях ассистирования собственными ионами. In this work, using RBS, scanning electron microscopy, and scanning probe microscopy, the composition and structure of metal coatings (Mo, Cr) deposited on (111) Si under conditions of irradiation with intrinsic ions are established. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/14600 |
| УДК: | 538.975 |
| Располагается в коллекциях: | 2021 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Osobennosti-formirovaniya-tonkih-plenok-funkcionalnyh-pokrytij-osazhdennyh-na-kremnie-ionno-luchevym-raspyleniem-Mo-Cr.pdf | С. 25-30 | 650,03 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.