ISSN 2522-4468

  1. Репозиторий БГАТУ!
  2. Материалы конференций, сборники научных трудов
  3. Материалы зарубежных конференций
  4. 2007
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12937
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.contributor.authorБобрович, Олег Георгиевич-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.contributor.authorАнтонович, И. П.-
dc.date.accessioned2021-05-26T11:48:07Z-
dc.date.available2021-05-26T11:48:07Z-
dc.date.issued2007-
dc.identifier.citationКомпозиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок / И. С. Ташлыков [и др.] // Тезисы докладов XXXVII международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 29-31 мая 2007 г. - Москва : Университетская книга, 2007. - С. 120.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/12937-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherУниверситетская книгаru_RU
dc.subjectионно-ассистированное нанесениеru_RU
dc.subjectтонкие пленкиru_RU
dc.subjectсамооблучениеru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectнанесение покрытийru_RU
dc.titleКомпозиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленокru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc539.211:539.1.06-
dc.relation.bookТезисы докладов XXXVII международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 29-31 мая 2007 г.ru_RU
Располагается в коллекциях:2007

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Kompozicionnyj sostav i povrezhdenie poverhnosti kremniya pri ionno-assistirovannom nanesenii tonkih plenok.pdfС. 120142,05 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.