ISSN 2522-4468

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12897
Название: Повреждение структуры и топографии поверхности при ионно-ассистированном осаждении покрытий
Авторы: Барайшук, Сергей Михайлович
Михалкович, Олег Михайлович
Ключевые слова: модифицирование поверхностей
ионно-ассистированные осаждения
самооблучение
топография поверхности
нанесение покрытий
кремний
свойства поверхности покрытий
Дата публикации: 2006
Издательство: ГрГУ
Библиографическое описание: Барайшук, С. М. Повреждение структуры и топографии поверхности при ионно-ассистированном осаждении покрытий / С. М. Барайшук, О. М. Михалкович // Физика конденсированного состояния : тезисы докладов XIV республиканской научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Гродно, 26 - 28 апреля 2006 г. - Гродно : ГрГУ, 2006. - С. 125-129.
Аннотация: В работе обсуждаются результаты экспериментального исследования систем покрытий подложка в которых основой сокрытия являются II C изготовленных методом ионно-ассистированном осаждении покрытий на кремний в условиях самообучения.
URI: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12897
УДК: 538.971
Располагается в коллекциях:2006

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Barajshuk-S-M-Povrezhdenie-struktury-i-topografii-poverhnosti-pri-ionno-assistirovannom-osazhdenii-pokrytij.pdfС. 125-1291,67 MBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.