Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12894| Название: | Состав и поверхности кремния с покрытиями, нанесенными в условиях ионного иссистирования |
| Авторы: | Барайшук, Сергей Михайлович Михалкович, Олег Михайлович |
| Ключевые слова: | модифицирование поверхностей тонкие пленки поверхности исходной подложки ионно-ассистированные осаждения самооблучение топография поверхности элементный состав пленок кремний |
| Дата публикации: | 2005 |
| Издательство: | ГрГУ |
| Библиографическое описание: | Барайшук, С. М. Состав и поверхности кремния с покрытиями, нанесенными в условиях ионного иссистирования / С. М. Барайшук, О. М. Михалкович // Физика конденсированного состояния : тезисы докладов XIII Республиканской научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Гродно, 26-28 апреля 2005 г. - Гродно : ГрГУ, 2005. - С. 273-276. |
| Аннотация: | Обсуждаются результаты экспериментального исследования системы покрытие/подложка, в которых основой покрытия Ti, Zr, Mo, изготовленных методом ионно-ассистированного нанесения покрытий на кремний в условиях самооблучения. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12894 |
| УДК: | 538.971 |
| Располагается в коллекциях: | 2005 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Barajshuk-S-M-Sostav-i-poverhnosti-kremniya-s-pokrytiyami-nanesennymi-v-usloviyah-ionnogo-issistirovaniya.pdf | С. 273-276 | 1,61 MB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.