Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12894
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
dc.date.accessioned | 2021-05-24T11:52:59Z | - |
dc.date.available | 2021-05-24T11:52:59Z | - |
dc.date.issued | 2005 | - |
dc.identifier.citation | Барайшук, С. М. Состав и поверхности кремния с покрытиями, нанесенными в условиях ионного иссистирования / С. М. Барайшук, О. М. Михалкович // Физика конденсированного состояния : тезисы докладов XIII Республиканской научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Гродно, 26-28 апреля 2005 г. - Гродно : ГрГУ, 2005. - С. 273-276. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12894 | - |
dc.description.abstract | Обсуждаются результаты экспериментального исследования системы покрытие/подложка, в которых основой покрытия Ti, Zr, Mo, изготовленных методом ионно-ассистированного нанесения покрытий на кремний в условиях самооблучения. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | ГрГУ | ru_RU |
dc.subject | модифицирование поверхностей | ru_RU |
dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
dc.subject | поверхности исходной подложки | ru_RU |
dc.subject | ионно-ассистированные осаждения | ru_RU |
dc.subject | самооблучение | ru_RU |
dc.subject | топография поверхности | ru_RU |
dc.subject | элементный состав пленок | ru_RU |
dc.subject | кремний | ru_RU |
dc.title | Состав и поверхности кремния с покрытиями, нанесенными в условиях ионного иссистирования | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
dc.identifier.udc | 538.971 | - |
dc.relation.book | Физика конденсированного состояния : тезисы докладов XIII Республиканской научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Гродно, 26-28 апреля 2005 г. | ru_RU |
Располагается в коллекциях: | 2005 |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Barajshuk-S-M-Sostav-i-poverhnosti-kremniya-s-pokrytiyami-nanesennymi-v-usloviyah-ionnogo-issistirovaniya.pdf | С. 273-276 | 1,61 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.