Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12539| Название: | Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении покрытий |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович Михалкович, Олег Михайлович |
| Ключевые слова: | кремний ионно-ассистированное осаждение покрытий дефектообразование |
| Дата публикации: | 2007 |
| Издательство: | БГУ |
| Библиографическое описание: | Ташлыков, И. С. Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении покрытий / И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук, О. М. Михалкович // Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 7-ой Международной конференции, Минск, 26–28 сентября 2007 г. - Минск : БГУ, 2007. - С. 335–337. |
| Аннотация: | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12539 |
| УДК: | 539.211 |
| Располагается в коллекциях: | 2007 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Tashlykov, I. S. Povrezhdenie struktury kremniya pri ionno-assistirovannom osazhdenii pokrytij2007.pdf | с. 335–337 | 549,7 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.