Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12539Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
| dc.date.accessioned | 2021-04-12T13:32:29Z | - |
| dc.date.available | 2021-04-12T13:32:29Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.citation | Ташлыков, И. С. Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении покрытий / И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук, О. М. Михалкович // Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 7-ой Международной конференции, Минск, 26–28 сентября 2007 г. - Минск : БГУ, 2007. - С. 335–337. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12539 | - |
| dc.description.abstract | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное осаждение покрытий | ru_RU |
| dc.subject | дефектообразование | ru_RU |
| dc.title | Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении покрытий | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 539.211 | - |
| dc.relation.book | БГУ | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | 2007 | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Tashlykov, I. S. Povrezhdenie struktury kremniya pri ionno-assistirovannom osazhdenii pokrytij2007.pdf | с. 335–337 | 549,7 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.