Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102| Название: | Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок |
| Другие названия: | Composition and damage of silicon surface at ion assisted deposition of thin films |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Бобрович, Олег Георгиевич Барайшук, Сергей Михайлович Михалкович, Олег Михайлович Антонович, Игорь |
| Ключевые слова: | тонкие пленки кремний ионно-ассистированное нанесение покрытий металлосодержащие покрытия |
| Дата публикации: | 2009 |
| Библиографическое описание: | Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок = Composition and damage of silicon surface at ion assisted deposition of thin films / И. С. Ташлыков [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2009. - N 5. - С. 92-95. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102 |
| УДК: | 539.211:539.1.06 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи из научных журналов |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| kompozicionnyj-sostav-i-povrezhdenie-poverhnosti-kremniya-pri-ionno-assistirovannom-nanesenii-tonkih-plenok.pdf | С. 92-95 | 260,84 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.