Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12077| Название: | Структура и свойства систем титановое покрытие-кремний, полученных осаждением титана на кремний в условиях самооблучения собственными ионами |
| Авторы: | Михалкович, Олег Михайлович Барайшук, Сергей Михайлович Ташлыков, Игорь Серафимович |
| Ключевые слова: | тонкие пленки элементный состав ионно-ассистированные осаждения титановые покрытия кремний |
| Дата публикации: | 2012 |
| Издательство: | Беларуская навука |
| Библиографическое описание: | Михалкович, О. М. Структура и свойства систем титановое покрытие-кремний, полученных осаждением титана на кремний в условиях самооблучения собственными ионами / О. М. Михалкович, С. М. Барайшук, И. С. Ташлыков // Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии : сборник докладов Х Международной конференции, Минск, 13-16 ноября 2012 г. - Минск : Беларуская навука, 2012. - С. 149-155. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12077 |
| УДК: | 544 |
| Располагается в коллекциях: | 2012 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| struktura-i-svojstva-sistem-titanovoe-pokrytie-kremnij-poluchennyh-osazhdeniem-titana-na-kremnij-v-usloviyah-samooblucheniya-sobstvennymi-ionami.pdf | С. 149-155 | 681,8 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.