Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12077
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
dc.date.accessioned | 2021-02-22T11:54:12Z | - |
dc.date.available | 2021-02-22T11:54:12Z | - |
dc.date.issued | 2012 | - |
dc.identifier.citation | Михалкович, О. М. Структура и свойства систем титановое покрытие-кремний, полученных осаждением титана на кремний в условиях самооблучения собственными ионами / О. М. Михалкович, С. М. Барайшук, И. С. Ташлыков // Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии : сборник докладов Х Международной конференции, Минск, 13-16 ноября 2012 г. - Минск : Беларуская навука, 2012. - С. 149-155. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12077 | - |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Беларуская навука | ru_RU |
dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
dc.subject | элементный состав | ru_RU |
dc.subject | ионно-ассистированные осаждения | ru_RU |
dc.subject | титановые покрытия | ru_RU |
dc.subject | кремний | ru_RU |
dc.title | Структура и свойства систем титановое покрытие-кремний, полученных осаждением титана на кремний в условиях самооблучения собственными ионами | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
dc.identifier.udc | 544 | - |
dc.relation.book | Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии : сборник докладов Х Международной конференции, Минск, 13-16 ноября 2012 г. | ru_RU |
Располагается в коллекциях: | 2012 |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
struktura-i-svojstva-sistem-titanovoe-pokrytie-kremnij-poluchennyh-osazhdeniem-titana-na-kremnij-v-usloviyah-samooblucheniya-sobstvennymi-ionami.pdf | С. 149-155 | 681,8 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.