Просмотр собрания по группе - Ключевые слова осаждение тонких пленок
Результаты с 1 по 1 из 1
Дата выпуска | Название | Автор(ы) |
---|---|---|
2021 | Синтез, структура и свойства сегнетоэлектриков SR BI2TA2O9 для осаждения тонких пленок в микроэлектронике | Шевченок, Александр Аркадьевич |