Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12606| Название: | Изучение поверхности структур металл/кремний, приготовленных ионно-ассистированным нанесением покрытий |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Тульев, Валентин Валентинович Барайшук, Сергей Михайлович |
| Ключевые слова: | структуры металлов кремний элементный состав механические свойства топография поверхности ионно-ассистированное нанесение покрытий |
| Дата публикации: | 2010 |
| Издательство: | МГУ |
| Библиографическое описание: | Ташлыков, И. С. Изучение поверхности структур металл/кремний, приготовленных ионно-ассистированным нанесением покрытий / И. С. Ташлыков, В. В. Тульев, С. М. Барайшук // Тезисы докладов XL Международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 25-27 мая 2010 г. - Москва : МГУ, 2010. - С. 178. |
| Аннотация: | Обсуждаются элементный состав, механические свойства и топография поверхности структур металл/кремний, сформированных ионно-ассистированным нанесением Ti, Со, Zr и Mo покрытий при ускоряющей разности потенциалов 3 кВ, интегральном потоке ассистирующих ионов 2·10^16 см^(–2) и плотности ионного тока ~ 0,26 мкА/см^2. Давление в мишенной камере составляло ~10^(–2) Па. Элементный состав поверхности структур изучали методом POP ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием RUMP, механические свойства - методом наноиндентирования, топографию поверхности с применением сканирующей атомно-силовой микроскопии. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12606 |
| УДК: | 539.211 |
| Располагается в коллекциях: | 2010 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Tashlykov, I. S. Izuchenie poverhnosti struktur metall.pdf | С. 178 | 340,06 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.