Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12606Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | - |
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
| dc.date.accessioned | 2021-04-16T12:18:16Z | - |
| dc.date.available | 2021-04-16T12:18:16Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.citation | Ташлыков, И. С. Изучение поверхности структур металл/кремний, приготовленных ионно-ассистированным нанесением покрытий / И. С. Ташлыков, В. В. Тульев, С. М. Барайшук // Тезисы докладов XL Международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 25-27 мая 2010 г. - Москва : МГУ, 2010. - С. 178. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12606 | - |
| dc.description.abstract | Обсуждаются элементный состав, механические свойства и топография поверхности структур металл/кремний, сформированных ионно-ассистированным нанесением Ti, Со, Zr и Mo покрытий при ускоряющей разности потенциалов 3 кВ, интегральном потоке ассистирующих ионов 2·10^16 см^(–2) и плотности ионного тока ~ 0,26 мкА/см^2. Давление в мишенной камере составляло ~10^(–2) Па. Элементный состав поверхности структур изучали методом POP ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием RUMP, механические свойства - методом наноиндентирования, топографию поверхности с применением сканирующей атомно-силовой микроскопии. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | МГУ | ru_RU |
| dc.subject | структуры металлов | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | элементный состав | ru_RU |
| dc.subject | механические свойства | ru_RU |
| dc.subject | топография поверхности | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение покрытий | ru_RU |
| dc.title | Изучение поверхности структур металл/кремний, приготовленных ионно-ассистированным нанесением покрытий | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 539.211 | - |
| dc.relation.book | Тезисы докладов XL Международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 25-27 мая 2010 г. | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | 2010 | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Tashlykov, I. S. Izuchenie poverhnosti struktur metall.pdf | С. 178 | 340,06 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.