Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12529| Название: | Диагностика поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович Михалкович, Олег Михайлович |
| Ключевые слова: | кремний тонкие пленки ионно-ассистированное нанесение покрытий в условиях самооблучения композиционный состав поверхности повреждение структуры кремния топография поверхности |
| Дата публикации: | 2006 |
| Издательство: | БГУ |
| Библиографическое описание: | Ташлыков, И. С. Диагностика поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок / И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук, О. М. Михалкович // Материалы и структуры современной электроники : сборник научных трудов II Международной научной конференции, Минск, 5–6 октября 2006 г. - Минск : БГУ, 2006. - С. 20–25. |
| Аннотация: | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры, топографии поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС). |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12529 |
| УДК: | 539.23.234 |
| Располагается в коллекциях: | 2006 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Tashlykov, I. S. Diagnostika poverhnosti kremniya, modificirovannogo ionno-assistirovannym naneseniem tonkih plenok.pdf | C. 20–25 | 1,02 MB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.