Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12529Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
| dc.date.accessioned | 2021-04-12T12:26:42Z | - |
| dc.date.available | 2021-04-12T12:26:42Z | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.citation | Ташлыков, И. С. Диагностика поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок / И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук, О. М. Михалкович // Материалы и структуры современной электроники : сборник научных трудов II Международной научной конференции, Минск, 5–6 октября 2006 г. - Минск : БГУ, 2006. - С. 20–25. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12529 | - |
| dc.description.abstract | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры, топографии поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС). | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение покрытий в условиях самооблучения | ru_RU |
| dc.subject | композиционный состав поверхности | ru_RU |
| dc.subject | повреждение структуры кремния | ru_RU |
| dc.subject | топография поверхности | ru_RU |
| dc.title | Диагностика поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 539.23.234 | - |
| dc.relation.book | БГУ | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | 2006 | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Tashlykov, I. S. Diagnostika poverhnosti kremniya, modificirovannogo ionno-assistirovannym naneseniem tonkih plenok.pdf | C. 20–25 | 1,02 MB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.