ISSN 2522-4468

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12574
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.contributor.authorТульев, Валентин Валентинович-
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.date.accessioned2021-04-14T09:29:05Z-
dc.date.available2021-04-14T09:29:05Z-
dc.date.issued2009-
dc.identifier.citationБарайшук, С. М. Нанотвердость и топография поверхности кремния с Ti, Co, Zr, Mo покрытиями, осажденными в условиях ионного ассистирования / С. М. Барайшук, В. В. Тульев, И. С. Ташлыков // Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 8-й Международной конференции, Минск, 23-25 сентября 2009 г. - Минск : Издательский центр БГУ, 2009. - С. 246-248.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/12574-
dc.description.abstractВ статье обсуждаются результаты экспериментального исследования механических свойств поверхности кремния, модифицированного ионно - ассистированным осаждением Ti, Со, Zr, Мо покрытий. Методом наноиндентирования покрытий получены кривые нагрузка - разгрузка и на их основании вычислены твердость поверхности и эффективный модуль Юнга. Методом атомно - силовой микроскопии исследованы топография и шероховатость модифицированных поверхностей.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУru_RU
dc.subjectионное ассистированиеru_RU
dc.subjectтопография поверхностиru_RU
dc.subjectнанотвердость поверхностиru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectметаллические покрытияru_RU
dc.subjectшероховатость поверхностиru_RU
dc.titleНанотвердость и топография поверхности кремния с Ti, Co, Zr, Mo покрытиями, осажденными в условиях ионного ассистированияru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc539.2-
dc.relation.bookВзаимодействие излучений с твердым телом : материалы 8-й Международной конференции, 23-25 сентября 2009 г.ru_RU
Располагается в коллекциях:2009



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.