ISSN 2522-4468

  1. Репозиторий БГАТУ!
  2. Материалы конференций, сборники научных трудов
  3. Материалы республиканских конференций
  4. 2007
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12565
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.date.accessioned2021-04-13T11:10:59Z-
dc.date.available2021-04-13T11:10:59Z-
dc.date.issued2007-
dc.identifier.citationТашлыков, И. С. Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок / И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук, О. М. Михалкович // Актуальные проблемы физики твердого тела : сборник докладов Международной научной конференции, Минск, 23–26 октября 2007 г. - Минск : БГУ, 2007. - Т. 3. - С. 80–82.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/12565-
dc.description.abstractОбсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС).ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГПУru_RU
dc.subjectионно-ассистированное нанесение тонких пленокru_RU
dc.subjectдефектообразованиеru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.titleДефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном нанесении тонких пленокru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc539.37+539.23-
dc.relation.bookМеждународная научная конференция «Актуальные проблемы физики твердого тела», Минск, 23–26 октября 2007 г.ru_RU
Располагается в коллекциях:2007

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Tashlykov, I. S. Defektoobrazovanie v kremnii pri ionno-assistirovannom nanesenii tonkih plenok.pdfС. 80–82890,99 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.